YYVIP易游新微技术申请芯片化红外光谱仪及其制备方法专利提升检测效率和可靠性

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　　国家知识产权局信息显示，上海新微技术研发中心有限公司申请一项名为“一种芯片化红外光谱仪及其制备方法”的专利，公开号CN121240611A，申请日期为2024年6月。

　　专利摘要显示，本发明提供一种芯片化红外光谱仪及其制备方法，制备方法包括如下步骤：提供一个读出集成电路晶圆，在读出集成电路晶圆上形成若干个微型辐射热计阵列，得红外探测器晶圆；提供第二晶圆，在第二晶圆上制备滤波器阵列，得滤波器晶圆；将红外探测器晶圆和滤波器晶圆进行键合，其中微型辐射热计阵列的单元与滤波器阵列的单元在入射光路上一一对应。一种芯片化红外光谱仪，包括由读出集成电路晶圆、导电基座和微型辐射热计阵列构成的红外探测器晶圆和滤波器晶圆；滤波器晶圆表面为超表面图案，图案的背面区域形成有空腔；滤波器晶圆键合在红外探测器晶圆上，微型辐射热计与滤波器在入射光路上一一对应，红外探测器晶圆表面形成有真空密封腔。

　　天眼查资料显示，上海新微技术研发中心有限公司，成立于2013年，位于上海市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本144416万人民币。通过天眼查大数据分析，上海新微技术研发中心有限公司共对外投资了21家企业，参与招投标项目484次，财产线条，此外企业还拥有行政许可46个。

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